超聲波誘導(dǎo)石英材料均質(zhì)化技術(shù)：高均勻性、低應(yīng)力。

創(chuàng)新點(diǎn)：基于氣相沉積與振動(dòng)環(huán)境結(jié)合，實(shí)現(xiàn)高精密石英材料的去應(yīng)力處理，最新測(cè)試結(jié)果表明Ф200口徑內(nèi)，應(yīng)力雙折射可達(dá)0.9nm/cm，折射率均勻性<0.9ppm。

石英材料具備優(yōu)良的理化性質(zhì)是高端技術(shù)領(lǐng)域的必需關(guān)鍵材料：

?透光性好；

?低膨脹系數(shù)；

?耐高溫；

?化學(xué)穩(wěn)定性好；

?電絕緣性好；

應(yīng)用領(lǐng)域：

?半導(dǎo)體領(lǐng)域：光掩模基板、蝕刻環(huán)、鐘罩；

?光伏領(lǐng)域：石英坩堝、擴(kuò)散管；

?激光領(lǐng)域：透鏡、反射鏡、保護(hù)鏡；

?光源領(lǐng)域：紫外光源石英管；

?光通訊領(lǐng)域：光纖預(yù)制棒；

?航空航天領(lǐng)域：窗口片、天文望遠(yuǎn)鏡；