光刻是指通過一系列操作步驟，將掩膜上的微結構圖案轉移至涂覆有光刻膠晶片上面的一種微機電加工工藝。微晶玻璃是一種低熱膨脹玻璃，常用于對精度要求極高的高科技應用，例如光刻機。

微晶玻璃憑借其獨特的特性可以最大限度地減少材料幾何形狀和尺寸的變化，保持精度的一致性，能有效解決在光刻曝光過程中在晶圓表面或者支柱上產生顆粒雜質對晶圓表面光刻曝光的影響。

它還具有非凡的可加工性，可制成各種尺寸和形狀，并具有高度均勻的性能。